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이상감지, 장비 솔루션

GSF솔루션의 이상감지 솔루션은 Diffusion, Clean, CMP, Etch, Photo 등 반도체 주요 공정 전반에 확장 적용 가능하며,
공정별 장비 구조와 이상 유형에 맞춰 맞춤형으로 구성됩니다.

DETECTION

주요 이상 감지 항목

공정 및 장비의 구조와 이상 유형에 따라 다양한 검사 항목을 맞춤형으로 구성할 수 있습니다.

웨이퍼 흔들림(Wobbling) 01

웨이퍼 흔들림
(Wobbling)

웨이퍼 이송 로봇 쳐짐 02

웨이퍼 이송
로봇 쳐짐

웨이퍼 정전기 03

웨이퍼
정전기

Nozzle 틀어짐 04

Nozzle
틀어짐

Nozzle Suck Back 05

Nozzle
Suck Back

웨이퍼 정렬 06

웨이퍼
정렬

FOUP 검사 07

FOUP
검사

웨이퍼 오염 08

웨이퍼
오염

부품 검사 / CCTV 기반 검사 09

부품 검사
CCTV 기반 검사

CCTV 기반 검사 10

CCTV 기반
검사

배관 유량 11

배관
유량

EQUIPMENT SOLUTION

장비 지능화 & 솔루션

장비 지능화

장비 지능화

장비 상태와 이상 유형에 맞춘 지능화 영역

장비 리퍼비시

장비 리퍼비시

장비 리퍼비시 관련 적용 영역

이차전지 공정 챔버 설계

이차전지 공정 챔버 설계

이차전지 공정 챔버 설계 적용 영역

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