노즐 위치나 각도의 미세한 변화로 인한 분사 이상 및 기판 접촉으로 인한 스크래치를 실시간 감지하여 공정 불량과 장비 손상을 예방합니다.

노즐 이동 중 발생하는 잔여액 비정상 액적 낙하를 실시간으로 감지함으로써 육안으로 놓치기 쉬운 오염을 차단하고 수율 저하를 예방합니다.

반복적인 이송 과정에서 발생하는 Blade의 미세한 처짐 경향을 실시간으로 분석하고 임계치를 관리하여, 기판 접촉 불량과 파손사고를 예방함으로써 공정의 안정적인 운영을 실현합니다.